＊膜厚モニター上に付着した物質の質量に応じて、周波数が変化します。それらの変化量により膜厚を検知します。＊バラつきを抑える為に公差の小さい設計を施しています。そのことで成膜条件・膜厚モニターの交換時期を管理しやすくなります。＊厳密な設計と高度な加工技術により、安定したライフを実現しました。＊お客様よりご使用済み品をお預かりし、丁寧に蒸着膜を剥離した後に成膜するリサイクル品にも対応しています。十分なコストパフォーマンスを得られます。